Українськийএকটি 200 মিমি ওয়েফার ফ্যাব-এর একজন প্রসেস ইঞ্জিনিয়ার একবার লিথোগ্রাফি ট্র্যাকে ব্যবহৃত হাইড্রোএন্ট্যাঙ্গলড ননওভেন ওয়াইপগুলির একটি রোলে ডাই ইল্ডে আকস্মিকভাবে হ্রাস পেয়েছে। wipes পরিষ্কার দেখাচ্ছিল এবং নরম অনুভূত, কিন্তু তরল কণা সংখ্যা সমস্যা উন্মুক্ত. সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে, একটি ক্লিনরুম ওয়াইপার একটি পণ্য সরবরাহ আইটেম নয়; এটি এমন একটি প্রক্রিয়া যা ওয়েফারকে স্পর্শ করে এমন পৃষ্ঠের কণা, আয়নিক এবং জৈব দূষণকে সরাসরি নিয়ন্ত্রণ করে।
নির্বাচনের প্রশ্নের সংক্ষিপ্ত উত্তর হল: আপনার ক্লিনরুম আইএসও ক্লাস, প্রক্রিয়া ধাপ এবং পরিষ্কার করার রসায়নের সাথে ওয়াইপার উপাদানের সাথে মিল করুন, তারপর কণা এবং নিষ্কাশনযোগ্য ডেটা দিয়ে প্রতিটি আগত লট যাচাই করুন। ব্র্যান্ড, রঙ, বা প্যাক প্রতি মূল্য দ্বারা নির্বাচন করবেন না।
পরিচ্ছন্নতা ডেটা দিয়ে শুরু করুন, দাম নয়
সেমিকন্ডাক্টর জ্যামিতিগুলি এখন কম ন্যানোমিটার পরিসরে পৌঁছেছে এবং গুরুতর ত্রুটির আকারের চেয়ে বড় একটি একক কণা একটি ডাইকে ধ্বংস করতে পারে। সাধারণ দোকানের তোয়ালে বা ইন্ডাস্ট্রিয়াল ওয়াইপারগুলি ওয়েফারের কাছে গ্রহণযোগ্য নয় কারণ তারা ফাইবার ফেলে দেয়, আয়নিক অবশিষ্টাংশ ছেড়ে দেয় এবং দ্রাবক বাষ্পীভূত হওয়ার পরে অ-উদ্বায়ী অবশিষ্টাংশ ছেড়ে যায়।
চারটি মেট্রিক্স একটি সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড ওয়াইপারকে সংজ্ঞায়িত করে:
- APC (বায়ুবাহিত কণার সংখ্যা): কণা 0.5 µm এবং বড়, এবং 5.0 µm এবং বড়, বাতাসে ছেড়ে দেওয়া হয়, সাধারণত প্রতি বর্গ মিটারে রিপোর্ট করা হয়। নিম্নতর ভাল।
- এলপিসি (তরল কণার সংখ্যা): ডিওনাইজড জল বা আইপিএতে নির্গত কণা, প্রতি মিলিলিটার রিপোর্ট করা হয়। এটি দ্রাবক মোছার সময় দূষণের সবচেয়ে সরাসরি ভবিষ্যদ্বাণীকারী।
- আয়নিক নিষ্কাশনযোগ্য: ক্লোরাইড, সোডিয়াম, পটাসিয়াম, সালফেট, এবং পিপিএম-এ অন্যান্য আয়ন। এই আয়নগুলি ডিভাইসে ক্ষয় এবং থ্রেশহোল্ড ভোল্টেজের পরিবর্তন ঘটাতে পারে।
- NVR (অ-উদ্বায়ী অবশিষ্টাংশ): দ্রাবক বাষ্পীভবনের পরে অবশিষ্টাংশ, প্রতি গ্রাম ওয়াইপারে মিলিগ্রামে রিপোর্ট করা হয়। উচ্চ NVR অপটিক্স এবং ওয়েফারগুলিতে একটি ধোঁয়া ছেড়ে দেয়।
নীচের চার্টটি সাধারণ ওয়াইপার উপাদান পরিবারের জন্য সাধারণ আপেক্ষিক বায়ুবাহিত কণার মাত্রা দেখায়। মানগুলি তুলনা করার জন্য দৃষ্টান্তমূলক; সর্বদা আপনার সরবরাহকারীর কাছ থেকে প্রকৃত পরীক্ষার রিপোর্টের জন্য অনুরোধ করুন।
ননবোভেন ওয়াইপারগুলি নিট পলিয়েস্টারের চেয়ে বেশি মাত্রার একটি অর্ডার ছেড়ে দেয়; ওয়েফার-সংলগ্ন পদক্ষেপ থেকে তাদের দূরে রাখুন।
প্রধান উপাদান পরিবার তুলনা
বোনা, বোনা এবং ননওভেন ওয়াইপারগুলি সবই ক্লিনরুম ক্যাটালগগুলিতে প্রদর্শিত হয়, তবে বুনা নির্মাণ সমালোচনামূলক সেমিকন্ডাক্টর পরিষ্কারের জন্য আদর্শ। একটি অবিচ্ছিন্ন ফিলামেন্ট পলিয়েস্টার বোনা বোনা বা হাইড্রোএন্ট্যাঙ্গল্ড কাঠামোর তুলনায় অনেক কম কণা প্রকাশ করে এবং এটি ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণে ব্যবহৃত দ্রাবক এবং অ্যাসিডকে প্রতিরোধ করে।
| উপাদান পরিবার | সাধারণ নির্মাণ | জন্য সবচেয়ে উপযুক্ত | প্রধান সীমাবদ্ধতা |
|---|---|---|---|
| 100% পলিয়েস্টার নিট | ক্রমাগত ফিলামেন্ট বুনা, সিল করা প্রান্ত | ওয়েফার-সংলগ্ন পরিষ্কার, ISO ক্লাস 4-6 | মাইক্রোফাইবারের চেয়ে কম শোষণ |
| সাব-মাইক্রোফাইবার polyester | সূক্ষ্ম-অস্বীকৃত বুনা | পাতলা ফিল্মের অবশিষ্টাংশ এবং তৈলাক্ত মাটি | আক্রমনাত্মক দ্রাবকের সাথে সামঞ্জস্যতা যাচাই করুন |
| মাইক্রোফাইবার 80/20 | পলিয়েস্টার/নাইলন স্প্লিট মাইক্রোফাইবার | টুল পৃষ্ঠতল এবং সাধারণ ফ্যাব পরিষ্কার | গুণমান খারাপ হলে নাইলন অবশিষ্টাংশ ছেড়ে যেতে পারে |
| ESD বুনা polyester | পরিবাহী ফাইবার সহ পলিয়েস্টার | স্ট্যাটিক-সংবেদনশীল প্রক্রিয়া পদক্ষেপ | প্লেইন নিট তুলনায় সামান্য উচ্চ কণা স্তর |
| Hydroentangled nonwoven | সেলুলোজ এবং পলিয়েস্টার মিশ্রণ | রক্ষণাবেক্ষণ, সাব-ফ্যাব, নন-ওয়েফার এলাকা | উচ্চ কণা প্রজন্ম; ওয়েফার জোন থেকে দূরে রাখুন |
ওয়েফার-মুখী অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য, একটি 100% পলিয়েস্টার নিট সিল-এজ ওয়াইপার হল সবচেয়ে নিরাপদ সূচনা পয়েন্ট। যেমন একটি পণ্য 1009LE ক্লিনরুম ওয়াইপার আপনাকে একটি নিয়ন্ত্রিত বেসলাইন দেয়; আমাদের ওয়াইপার উত্পাদন ISO ক্লাস 5 এবং ক্লাস 6 ক্লিনরুমে চলে এবং প্রযুক্তিগত দল যোগ্যতার জন্য কণা এবং নিষ্কাশনযোগ্য প্রতিবেদন সরবরাহ করতে পারে।
কাস্টম 1009LE ক্লিনরুম ওয়াইপার সরবরাহকারী, OEM/ODM কারখানা - সুঝো জুজি ইলেক্ট্রন সুঝো জুজি ইলেক্ট্রন কোং, লিমিটেড হল একটি চায়না OEM/ODM 1009LE ক্লিনরুম ওয়াইপার সরবরাহকারী এবং 1009LE ক্লিনরুম ওয়াইপার কারখানা, আমরা গ্রাহকদের মধ্যে বিশেষজ্ঞ... পণ্য দেখুন → ওয়াইপারটিকে ISO ক্লাস এবং প্রসেস জোনের সাথে মিলিয়ে নিন
একই ফ্যাব তিনটি ভিন্ন জোনে তিনটি ভিন্ন ওয়াইপার ব্যবহার করতে পারে। নিয়মটি সহজ: ওয়াইপারটি যে পরিবেশে ব্যবহার করা হয় তার থেকে অবশ্যই পরিষ্কার হতে হবে, কারণ মোছার ফলে কণাগুলি আবার পৃষ্ঠে জমা হতে পারে।
- ISO ক্লাস 4-5 (লিথোগ্রাফি, ইচ, ডিপোজিশন): 0.5 µm এবং তার উপরে সিল করা প্রান্ত এবং নথিভুক্ত LPC সহ 100% পলিয়েস্টার নিট ব্যবহার করুন। এই অঞ্চলগুলিতে কখনই ননবোনা ওয়াইপার ব্যবহার করবেন না।
- আইএসও ক্লাস 6 (ট্র্যাক, মেট্রোলজি, ইএফইএম, লোড পোর্ট): পলিয়েস্টার নিট বা ইএসডি নিট, ধাপের স্ট্যাটিক সংবেদনশীলতার উপর নির্ভর করে।
- ISO ক্লাস 7-8 (সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ, সাব-ফ্যাব, গাউনিং এলাকা): মাইক্রোফাইবার বা বোনা ওয়াইপার খরচ নিয়ন্ত্রণ করে যখন এখনও নির্ভরযোগ্য পরিচ্ছন্নতা প্রদান করে।
যখন কাজটি আইএসও ক্লাস 7 অঞ্চলে টুলের বহিরাগত থেকে জৈব অবশিষ্টাংশ অপসারণ করছে, তখন JW08522 মাইক্রোফাইবার ওয়াইপার একটি স্ট্যান্ডার্ড বুনা তুলনায় ওজন দ্বারা লক্ষণীয়ভাবে বেশি তরল শোষণ করে, যা পরিষ্কার করার সময়কে ছোট করে এবং রাসায়নিক খরচ কমায়।
কাস্টম JW-08522 মাইক্রোফাইবার ওয়াইপার সরবরাহকারী, OEM/ODM কারখানা - সুঝো জুজি ইলেক্ট সুঝো জুজি ইলেক্ট্রন কোং, লিমিটেড হল একটি চীনের OEM/ODM JW-08522 মাইক্রোফাইবার ওয়াইপার সরবরাহকারী এবং JW-08522 মাইক্রোফাইবার ওয়াইপার কারখানা, আমরা বিশেষ... পণ্য দেখুন → নীচের লাইন চার্টটি ব্যাখ্যা করে যে কেন কৌশল এবং প্রান্তের গুণমান গুরুত্বপূর্ণ। একটি ভাল-সিল করা বোনা ওয়াইপার কয়েকটি স্ট্রোকের পরে একটি কম স্থির অবস্থায় পৌঁছে যায়; একটি কাট-এজ ওয়াইপার অনেক বেশি সময় ধরে উচ্চ স্তরে শেডিং রাখে।
প্রথম স্ট্রোক সবসময় সবচেয়ে কণা মুক্তি; একটি সিল করা প্রান্ত শিখর এবং স্থির-স্থিতি স্তর উভয়ই কমিয়ে দেয়।
এজ সিলিং: একটি বড় প্রভাব সহ একটি ছোট বিবরণ
কাটা প্রান্তগুলি হল একটি ক্লিনরুম ওয়াইপারে আলগা তন্তুগুলির প্রাথমিক উত্স। যখন একটি ব্লেড একটি বোনা ফ্যাব্রিকের মধ্য দিয়ে টুকরো টুকরো করে, তখন এটি লুপগুলি খোলে এবং ফিলামেন্টের প্রান্তগুলি ছেড়ে যায় যা মোছার সময় বিচ্ছিন্ন হতে পারে। তাপ, অতিস্বনক ঢালাই, বা লেজার গলানোর ফাঁদ দিয়ে প্রান্তটি সিল করা সেই ফিলামেন্টগুলিকে আটকে রাখে এবং সেগুলিকে প্রক্রিয়ার বাইরে রাখে।
- ISO ক্লাস 5 এবং ক্লিনার অ্যাপ্লিকেশনের জন্য লেজার বা অতিস্বনক সিল করা প্রান্ত ব্যবহার করুন।
- পরীক্ষা করুন যে সিল করা প্রান্তটি নমনীয় থাকে; একটি শক্ত প্রান্ত অপটিক্স এবং পালিশ পৃষ্ঠ স্ক্র্যাচ করতে পারে।
- যোগ্যতার সময় বড়করণের অধীনে প্রান্তটি পরিদর্শন করুন এবং প্রান্তের কণা ডেটার অনুরোধ করুন।
একটি ভাল ওয়াইপার দিয়েও কেন কণার মুক্তি ঘটে সে সম্পর্কে আরও বিশদের জন্য দেখুন আমাদের বিশ্লেষণ কেন একটি ক্লিনরুম ওয়াইপার মোছার সময় কণা ছেড়ে দেয় .
স্ট্যাটিক একটি ঝুঁকি যেখানে ESD নিয়ন্ত্রণ যোগ করুন
একটি ওয়াইপার একটি পৃষ্ঠ জুড়ে স্লাইড করার সাথে সাথে স্ট্যাটিক চার্জ তৈরি করতে পারে। একটি ওয়েফার ফ্যাবে, সেই চার্জটি গেট অক্সাইডের ক্ষতি করতে পারে বা আপনি যে জায়গাটি পরিষ্কার করছেন সেখানে বায়ুবাহিত কণাকে আকর্ষণ করতে পারে। ইএসডি ওয়াইপারগুলি অল্প শতাংশ পরিবাহী ফাইবার দিয়ে বোনা হয়, সাধারণত কার্বন-লোডেড পলিয়েস্টার, যেটি যখন অপারেটরকে কব্জির চাবুক এবং মাদুর দিয়ে গ্রাউন্ড করা হয় তখন চার্জ মাটিতে ফেলে দেয়।
ওয়েফার ট্রান্সফার এরিয়া, লোড পোর্ট, রেটিকল হ্যান্ডলিং, মেট্রোলজি টুলস এবং যে কোন জায়গায় একটি সংবেদনশীল যন্ত্র অসমর্থিত থাকে সেখানে একটি ESD ওয়াইপার ব্যবহার করুন।
আপনি যখন এই অঞ্চলগুলির জন্য ওয়াইপারের যোগ্যতা অর্জন করেন, তখন ট্রায়ালে একটি ESD গ্রেড অন্তর্ভুক্ত করুন। দ ESD ক্লিনরুম ওয়াইপার একই সিরিজ থেকে কণা এবং চার্জ ক্ষয় কর্মক্ষমতা জন্য একটি আদর্শ বুনা সঙ্গে পাশাপাশি তুলনা করা যেতে পারে.
কাস্টম ESD ওয়াইপার সরবরাহকারী, OEM/ODM ফ্যাক্টরি - Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd সুঝো জুজি ইলেক্ট্রন কোং, লিমিটেড একটি চায়না OEM/ODM ইএসডি ওয়াইপার সরবরাহকারী এবং ইএসডি ওয়াইপার কারখানা, আমরা কাস্টম ইএসডি ওয়াইপার এবং অন্যান্য পিআর... পণ্য দেখুন → প্রতিশ্রুতি দেওয়ার আগে সরবরাহকারীকে যাচাই করুন
একটি ডেটা শীট শুধুমাত্র আপনাকে বলে যে সরবরাহকারী কী পরিমাপ করেছে, তারা কী নিয়ন্ত্রণ করে তা নয়। যেহেতু ওয়াইপার একই পৃষ্ঠগুলিকে স্পর্শ করে যা ওয়েফারকে স্পর্শ করে, তাই লট-টু-লট সামঞ্জস্যই আসল প্রয়োজন। সরবরাহকারীর যোগ্যতার সময় এই চেকলিস্টটি ব্যবহার করুন:
- ক্লিনরুম ম্যানুফ্যাকচারিং: ওয়াইপারটি ধোয়া, শুকানো, সিল করা এবং ক্লিনরুমে প্যাকেজ করা উচিত অন্তত আপনার নিজের প্রক্রিয়া এলাকার মতো পরিষ্কার।
- লট ট্রেসেবিলিটি: প্রতিটি লটে একটি লট নম্বর এবং APC, LPC, ionic extractables এবং NVR কভার করে একটি পরীক্ষার রিপোর্ট থাকা উচিত।
- দ্রাবক সামঞ্জস্য: IPA, অ্যাসিটোন, এবং অনুমোদনের আগে আপনার ব্যবহার করা যেকোন মিশ্র রসায়নে ওয়াইপার যাচাই করুন।
- প্যাকেজিং অখণ্ডতা: ডবল-ব্যাগযুক্ত ক্লিনরুম পলি সর্বনিম্ন; গামা বিকিরণ যোগ করুন শুধুমাত্র যদি বন্ধ্যাত্ব প্রয়োজন হয়।
- বিজ্ঞপ্তি পরিবর্তন করুন: সরবরাহকারীকে কাঁচামাল, ডিটারজেন্ট, কাটা পদ্ধতি, বা সিল করার প্রক্রিয়ার কোনো পরিবর্তন সম্পর্কে আপনাকে জানাতে বলুন।
আপনি যদি এই পদক্ষেপগুলিকে একটি আনুষ্ঠানিক ওয়াইপার স্পেসিফিকেশনে পরিণত করতে চান, আমাদের ক্লিনরুম ভোগ্যপণ্য দলের সাথে যোগাযোগ করুন আপনার আইএসও ক্লাস, দ্রাবক পরিষ্কার এবং প্রক্রিয়ার ধাপ সহ, এবং আমরা আপনাকে ঝুঁকি প্রোফাইলের সাথে একটি ওয়াইপার গ্রেড মেলাতে সহায়তা করব।
প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী
আমি কি লিথোগ্রাফি এবং সাব-ফ্যাব রক্ষণাবেক্ষণের জন্য একই ওয়াইপার ব্যবহার করতে পারি?
না। ওয়েফার-মুখী ওয়াইপারগুলিকে রক্ষণাবেক্ষণকারী ওয়াইপার থেকে আলাদা রাখুন। হাইড্রোএন্ট্যাঙ্গলড ননওভেন ওয়াইপারগুলি মেঝে এবং সরঞ্জামের ফ্রেমের জন্য ভাল, তবে এগুলি কখনই লিথোগ্রাফি, এচ, বা ওয়েফারগুলি উন্মুক্ত হয় এমন কোনও জায়গায় ব্যবহার করা উচিত নয়।
বেশি দাম কি ভালো পরিচ্ছন্নতার লক্ষণ?
সবসময় নয়। দাম প্রায়শই প্যাকেজিং এবং ব্র্যান্ডের অবস্থান প্রতিফলিত করে। মূল্য দ্বারা নয়, কণা এবং নিষ্কাশনযোগ্য ডেটা দ্বারা একটি ওয়াইপার বিচার করুন; একটি মধ্য-মূল্যের সিল-প্রান্ত পলিয়েস্টার নিট আপনার নির্দিষ্ট রসায়নে একটি প্রিমিয়াম পণ্যকে ছাড়িয়ে যেতে পারে।
আমার কি সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমে জীবাণুমুক্ত ওয়াইপার দরকার?
ওয়েফার ফ্যাব-এ জীবাণুমুক্তি প্রধান উদ্বেগের বিষয় নয়; কণা গণনা হয়। জীবাণুমুক্ত ওয়াইপারগুলি প্রাথমিকভাবে একটি ফার্মাসিউটিক্যাল এবং মেডিকেল ডিভাইসের প্রয়োজন। আপনি যদি জীবাণুমুক্ত ওয়াইপার বাছাই করেন, তবে নিশ্চিত করুন যে নির্বীজন পদ্ধতিটি বুনা কাঠামোর অবনতি বা নিষ্কাশনযোগ্য দ্রব্য বাড়ায় না।
সরবরাহকারী পরিবর্তনের পর কত ঘন ঘন আমার পুনরায় যোগ্যতা অর্জন করা উচিত?
যখনই সরবরাহকারী কাঁচামাল, নির্মাণ, প্রান্ত সিলিং, ডিটারজেন্ট, বা প্যাকেজিং লাইন পরিবর্তন করে তখনই পুনরায় যোগ্যতা অর্জন করুন। এমনকি ধুয়ে ফেলা জলের গুণমানের পরিবর্তন আয়নিক নিষ্কাশনযোগ্যগুলিকে একটি বড় ব্যবধানে পরিবর্তন করতে পারে। একটি নথিভুক্ত পুনঃ-যোগ্যতা প্রক্রিয়াটিকে রক্ষা করে এবং একটি নিরীক্ষার পথ তৈরি করে।
চূড়ান্ত সিদ্ধান্ত নেওয়া
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য সঠিক ক্লিনরুম ওয়াইপার হল যেটি কণা, আয়ন এবং অবশিষ্টাংশের জন্য আপনার প্রক্রিয়ার সীমা পূরণ করে, জোনের ISO ক্লাসের সাথে মেলে, আপনার পরিষ্কারের রসায়নকে প্রতিরোধ করে এবং এমন একজন সরবরাহকারীর কাছ থেকে আসে যিনি অনেক-থেকে-লট ধারাবাহিকতা প্রমাণ করতে পারেন। সিল করা প্রান্তগুলি বেছে নিন যেখানে ফাইবারগুলি একটি ঝুঁকিপূর্ণ, এবং যেখানে স্ট্যাটিক একটি ঝুঁকিপূর্ণ সেখানে ESD নির্মাণ৷ উপরের কাঠামোর সাথে, ওয়াইপার কেনা একটি রুটিন ক্রয়ের পরিবর্তে একটি নিয়ন্ত্রিত প্রক্রিয়ার সিদ্ধান্তে পরিণত হয়৷
